Halbleiter

In Halbleiterprozessen ist der Einsatz von PVC-Rohrleitungszubehör und Regelventilen von entscheidender Bedeutung. Die Halbleiterindustrie stellt extrem hohe Anforderungen an Fluidsysteme, insbesondere in Bezug auf Sauberkeit, Materialreinheit, Korrosionsbeständigkeit und Präzision der Fluidsteuerung. UPVC-Rohrleitungszubehör (weichmacherfreies Polyvinylchlorid) wird aufgrund seiner hervorragenden Korrosionsbeständigkeit und chemischen Stabilität häufig in der Halbleiterindustrie eingesetzt.

Die Halbleiterherstellung umfasst viele komplexe Prozesse, bei denen Fluidsysteme eine wichtige Rolle spielen. Zum Beispiel erfordern Kernausrüstungen wie Fotolithographie-Maschinen, PVD (Physical Vapor Deposition), CVD (Chemical Vapor Deposition), Ätzmaschinen sowie Wafervorbereitungsprozesse und Pipeline-Systeme in Anlagen hochreine und ultrahochreine Rohrleitungs- und Ventilkomponenten. Zu diesen Komponenten gehören verschiedene Arten von Ventilen, wie z. B. Membranventile, Faltenbalgventile, Druckminderventile, Rückschlagventile sowie saubere Rohre und Gasregelgeräte.

Hochreine Ventile in der Halbleiterindustrie erfüllen drei Hauptfunktionen: Ein-Aus-Steuerung von Flüssigkeiten, Regelung des Flüssigkeitsdurchflusses und Änderung der Flüssigkeitsrichtung. Diese Ventile spielen eine entscheidende Rolle in der Front-End-Prozessausrüstung und in den Gasversorgungssystemen von Chips mit integrierten Schaltkreisen, z. B. bei Ätzprozessen und Dünnschichtabscheidungsprozessen. Um die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen, werden diese Ventile in der Regel aus ultrahochreinem Edelstahl hergestellt und elektropoliert und passiviert, um eine gute Korrosionsbeständigkeit zu erreichen.

Ventile der Marke YNTO sind auf die Bereitstellung von Flüssigkeits- und Regelventilen spezialisiert, die für Halbleiterprozesse geeignet sind, einschließlich pneumatischer Ventile, elektrischer Ventile und automatischer Regelventile.

Zusammenfassend lässt sich sagen, dass die Anwendung von PVC-Rohrleitungszubehör und Regelventilen in Halbleiterprozessen die Nachfrage der Industrie nach hochpräzisen und zuverlässigen Fluidsteuerungssystemen widerspiegelt. Diese Systeme müssen in der Lage sein, in extrem sauberen und hochpräzisen Umgebungen stabil zu arbeiten, um die Effizienz und Produktqualität der Halbleiterfertigung zu gewährleisten.